Датчики по своему исполнению могут быть одно или двух емкостными. Устройство одноемкостных датчиков простое. Изменяемую емкость имеет конденсатор. Минусом таких изделий является то, что внешним воздействиям они поддаются значительно. Влажность и температура могут влиять на их показания. Дифференциальные двухъемкостные модели применяют для компенсации неточностей такого типа.
Чтобы паразитные емкости были погажены, между датчиком и измерительным устройством находится минимум три экранированных проводника. Такие датчики имеют более широкую сферу применения, большую точность и стабильность. Из соображений устройства дифференциальные емкостные датчики спроектировать бывает сложно, особенно если речь идет о моделях с измеряемым зазором. Однако если расположить рабочий и образцовый конденсатор рядом, сделать их конструкцию одинаковой, к наружному воздействию факторов чувствительность устройства уменьшается значительно.
Очень многочисленными и разнообразными могут быть неэлектрические параметры для измерения. Емкостные датчики перемещения создаются на базе конденсатора с равномерно распределенным в рабочем промежутке электрическим полем. Для контроля значительных перемещений удобнее использовать варианты с переменной площадью электродов. Незначительные изменения лучше фиксируют модели с изменяемым промежутком между обкладками.
Для малых изменений угла стоит использовать не линейные датчики, а модели угловых перемещений. Изменяемая площадь пластин, многосекционные модели часто применяются для этой цели. На валу объекта, который подвергается контролю, крепят один электрод. Площадь пластин конденсатора меняется, если наблюдается угловое смещение вала. Емкость в итоге также становится другой. Электронная схема обрабатывает такие изменения.
Датчики крена – инклинометры. Они способны определять наклон. В виде капсулы выполняется их чувствительный элемент. Находящиеся под прямым углом два инклинометра используются для определения положения плоскости.